PR500:手動控制 PR510:自動觸摸屏控制
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓,玻璃基板對應
特征
● 大口徑(Φ215mm)石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)
低溫等離子的經典款非常具有歷史性。采用自動協調功能及觸摸屏操作(PR510),提高了操作性及安全性,是一款小型緊湊型的等離子處理設備。
用途
● 去除光刻膠
● 部品清洗
● 界面活性處理
● 微研磨
● 硅晶圓,玻璃基板對應
特征
● 大口徑(Φ215mm)石英反應腔
● 小型一體化設計
● 操作簡單的觸摸屏方式(PR510型)